光氧凈化器利用高臭氧UV紫外線光束分 解空氣中的氧分子產生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡所以需與氧分子結合，進而產生臭氧，是光氧凈化器。光氧凈化器對高濃度廢氣進行預處理，分析各車間產生的廢氣，含有禁忌物質的廢氣應分開處理。當有害物質（如活性炭，疊氮化合物等）可能沉積在廢氣管道中時，應考慮定期清潔廢氣管道。在排氣管道的設計和安裝過程中，應考慮到某些坡度，以便于消 除滲流并避免過多的流出物積聚，導致排氣管變形和過多的殘余混合物；積液經常排出。排氣管道應在所有危險點（如支管接入歧管）設置排氣板，以減少返回反應釜并產生連鎖反應。
簡單介紹光氧凈化器脫硝技術治理工藝：
（1）光氧凈化器煙氣脫硝技術按治理工藝可分為濕法脫硝技術和干法脫硝技術。主要包括：酸吸收法、堿吸收法、選擇性催化還原法、非選擇性催化還原法、吸附法、離子體活化法等。
（2）利用煙氣脫硝設備進行燃燒前脫硝包括加氫脫硝和洗選；燃燒中脫硝包括低溫燃燒、低氧燃燒、FBC燃燒技術、采用低NOx燃燒器、煤粉濃淡分離和煙氣再循環(huán)技術；
（3）燃燒后脫硝包括選擇性非催化還原脫硝（SNCR）、選擇性催化還原脫硝（SCR）、活性炭吸附和電子束脫硝。
（4）由鼓風機送來的燃料（煙氣）在洗滌塔中用水洗滌，冷卻到55-60℃，然后與來自氧化發(fā)生器的含氧化劑的空氣混合，使排氣中的NOX氧化。
（5）氧化劑添加的比例一般控制在0.5-1.7范圍內（對NO的克分子比），這時亞硫酸氣不被氧化，另煙氣中的塵埃并不消耗氧化劑，氧化劑只對NOX有選擇性地氧化。
（6）過氧化劑氧化的煙氣送入吸收塔，與含有硫酸和鐵催化劑的吸收液以30-50升/標準米3的液氣比進行對流接觸。其他被還原成為一氧化二氮或氮氣等無害氣體與煙氣一起排出。